半导体厂送风系统是半导体制造过程中重要的环境控制系统之一，它主要涉及到为半导体生产车间提供环境所需的空气处理、分配和控制。送风系统施工工程主要包括以下几个方面：

    1.设计与规划：在施工之前，需要根据半导体生产工艺的要求，设计出合适的风量、风速、温度和湿度等参数。同时，还需要规划出风管的布局、尺寸和走向等。

    2.材料选择：半导体厂送风系统需要使用质量好、洁净度高的材料，以保证空气质量。

    3.风管制作：根据设计图纸，制作出风管、风口、风阀等部件。在制作过程中，需要注意风管的严密性、平整度和洁净度。

    4.安装与调试：将制作好的风管部件进行现场安装，包括风管的连接、固定、保温等。安装完成后，进行系统调试，确保风量、风速、温度和湿度等参数符合设计要求。

    5.系统测试：在施工完成后，需要对送风系统进行全面的测试，包括风量测试、风速测试、洁净度测试等。确保系统的正常运行和满足半导体生产工艺的要求。

    6.培训与验收：对半导体厂的相关人员进行风系统的操作和维护培训，确保他们能够熟练掌握相关技能。进行工程验收，确保施工质量符合相关标准和要求。

    总的来说，半导体厂送风系统施工工程是一个复杂而严谨的过程，需要专业的团队和设备来进行。